一种检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法

提出一种精确检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法。将对准标记曝光到硅片表面并进行显影;利用光学对准系统测量曝光到硅片上的对准标记理论曝光位置与实际读取位置的偏差;由推导的位置偏差与非正交因子、坐标轴尺度比例、过程引入误差的线性模型,根据最小二乘原理计算出干涉仪测量系统的非正交性。实验结果表明,利用该方法使用同一硅片在不同旋转角下进行测量,干涉仪测量系统非正交因子的测量重复精度优于0.01 μrad,坐标轴尺度比例的测量重复精度优于0.7×10-6。使用不同的硅片进行测量,非正交因子的测量再现性优于

一种使用双棱镜的动态小角度测量方法

提出一种基于正切关系和相位调制技术的动态小角度测量方法。使用双棱镜组成干涉测量臂引导两束平行光至分束棱镜处干涉,通过提取携带被测信息的干涉信号的相位实现动态的小角度测量。由于采用位置探测器(PSD)对测量臂中两平行光束的间距进行测量,简化了测量方程,消除了装置中双棱镜必须对称放置的要求。通过正弦地改变半导体激光器的注入电流在时域内实现对干涉信号的相位调制,形成准外差干涉测量模式,提高了光程差的测量精度。实验验证了该方法的可行性,并讨论了影响小角度测量精度的误差因素。研究结果表明,基于该方法的动态小角度的重

Accuracy analysis of parallel plate interferometer for angular displacement measurement

The measurement accuracy of a parallel-plate interferometer for angular displacement measurement is analyzed. The measurement accuracy of angular displacement is not only related to the accuracy of phase extraction, but also related to initial incident angle, refraction index and thickness of plane-parallel plate as well as wavelength's stability of laser diode, etc. Theoretical analysis and computer simulation show that the measurement error of the angular displacement bears a minimum value when choosing an optimal initial incident angle in a large range. These analytical results serve as a guide in practical measurement. In this interferometer, reducing the refraction index or increasing the thickness of the parallel plate can improve the measurement accuracy; and the relative error of the phase measurement is 3.0 x 10(-4) corresponding to 1 degrees C temperature variation. Based on these theoretical and experimental results, the measurement accuracy of the parallel-plate interferometer is up to an order of 10(-8) rad. (c) 2007 Elsevier Ltd. All rights reserved.

拼接光栅压缩器的时域特性

在拼接光栅和拼接光栅压缩器的设计中,子光栅调节偏差不可避免,各维偏差与拼接光栅的时间特性之间的关系很关键。通过脉冲压缩理论分析得到各维偏差和聚焦脉冲时间宽度展宽之间的解析关系,从数值计算结果分析,面平行左右偏差对脉冲的时间宽度影响较大,必须控制在21.08 μrad内；条纹密度差异对脉冲宽度的影响很显著,相对条纹密度的比值应控制在10-5以内；从消除角色散的角度分析,面平行俯仰偏差和条纹平行度偏差可以相互补偿,条纹密度差异和面平行左右偏差也可以相互补偿。

阵列光栅压缩器的空域特性

引入角度偏差、位移偏差作为拼接光栅系统的物理参数，定义了拼接光栅的孔径函数，利用傅里叶角谱理论研究了高斯脉冲入射拼接光栅压缩器后的远场分布特性。研究表明；出射脉冲仍然是高斯型脉冲，但包络中心发生偏移，偏移量由角度偏差量和光束口径决定；位移偏差引入的相位随着拼接光栅压缩器传递，其对远场焦斑的影响，取决于每片子光栅的非整数倍光栅常数的横向位移偏差和纵向位移偏差的综合作用。通过数值计算得到了各维偏差对阵列光栅压缩器空域特性的影响，计算表明：光栅面外角度偏差（俯仰左右）和条纹平行度偏差都必须控制在1μrad以内，

四区域法消除偏振棱镜缺陷对波片相位延迟测量的影响

在起偏器待测波片检偏器系统基础上提出一种四区域测量波片相位延迟量的方法。调整待测波片和检偏器的方位角,获得相应的四组光强值,通过线性运算得到待测波片的相位延迟量,完全消除了起偏器和检偏器不完全消光带来的误差。由于测量系统中不存在标准波片或其他相位调制元件,允许测量波长仅受偏振棱镜和探测器的限制,因此四区域法可适用于很大波长范围内的波片测量。以λ/4波片为例,理论分析了测量系统利用四区域测量法后的仪器误差为σ≤±3.49065×10-3rad(约0.2°),精度比原算法提高约1个数量级。实验验证了四区域法能有效提高系统精度。

铒离子浓度对掺Er^3＋碲酸盐玻璃的Judd-Ofelt理论参数的影响

制备了四种不同铒离子掺杂浓度的碲酸盐玻璃，通过测定吸收光谱计算了吸收谱线的振子强度，根据Judd-Ofelt理论计算了不同浓度下Er^3＋离子发光光谱的强度参数Ω（i=2，4，6），计算了自发辐射电偶和磁偶跃迁概率、辐射寿命、荧光分支比等参数，讨论了Er^3＋离子浓度变化对以上这些参数的影响。测试了Er^3＋：^4I13／2→^4I15／2跃迁对应的荧光光谱和Er^3＋：^4I13／2能级荧光寿命。最后应用McCumber理论计算了玻璃中Er^3＋：^4I13／2→^4I15／2跃迁对应的受激发射截面大小

一种新型掺铒碲酸盐玻璃的光谱性质研究

研究了一种新型掺Er^3+碲酸盐玻璃的光谱性质；应用Judd-Ofelt理论计算了碲酸盐玻璃中Er^3+离子的强度参数Ω(Ω2=4．79×10^-20cm^2，Ω4=1．52×10^-20cm^2，Ω6=0．66×10^-20cm^2)，计算了离子的自发跃迁概率，荧光分支比；应用McCumber理论计算了Er^3+的受激发射截面(σe=10．40×10^-21cm^2)，Er^3+离子^4I13/2→^4I15/2发射谱的荧光半高宽(FWHM=65．5nm)及各能级的荧光寿命(^4I13/2能级为τrad

Effect of bismuth oxide on the thermal stability and Judd-Ofelt parameters of Er 3(+)/Yb3(+) co-doped aluminophosphate glasses

The Er3+/Yb3+ co-doped glasses with compositions of xBi(2)O(3)-(65-x)P2O5-4Yb(2)O(3)-11Al(2)O(3)-5BaO-15Na(2)O (where x = 0, 2.5, 5, 7.5 and 10 mol%) were prepared using the normal melt quench technique. The optical absorption spectra of the glasses were recorded in the wavelength range 300-1700 nm. The effect of Bi2O3 content on the thermal stability and absorption spectra of glasses was investigated. In addition, the Judd-Ofelt parameters and oscillator strengths were calculated by employing Judd-Ofelt theory. It was observed that the positions of the fundamental absorption edge and cut-off wavelength shifted towards red as the content of Bi2O3 increased. However, there were no red shifts found both in the peak wavelength and in the center of mass wavelength of all absorption bands with Bi2O3 content increasing. The results of Judd-Ofelt theory analysis showed that Judd-Ofelt parameters Omega(t), (t = 2, 4, 6) changed sharply when Bi2O3 concentration exceeded 5 mol%. The variation trends of experimental oscillator strength were similar with those of Judd-Ofelt parameters as function of Bi2O3 concentrations. Moreover, differential scanning calorimetry experiments showed that the increases of Bi2O3 content weakened the network structure and then lowered the thermal stability of the glasses. The spontaneous emission probability A(rad), branching ratio beta and the radiative lifetime tau(rad) were also calculated and analyzed. The stimulated emission cross-section of Er3+ was calculated according to the McCumber theory. It was found that the stimulated emission cross-section of Er3+ was monotonically increases with Bi2O3 content increasing. (C) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.

荧光俘获效应对掺铒氧化物玻璃光谱性质的影响

测试了不同掺杂浓度和样品厚度下掺铒磷酸盐和碲酸盐玻璃的吸收光谱、荧光光谱和荧光寿命，计算了Er^3＋离子在1．53μm处的吸收截面（σa）、发射截面（σe）、自发辐射跃迁概率（Arad）、辐射跃迁寿命（τrad）、以及辐射跃迁量子效率（η）等光谱参数．讨论了荧光俘获效应对掺铒磷酸盐和碲酸盐玻璃光谱性质及光谱参数的影响．结果表明即使在铒离子低掺杂浓度（0．1mol％Er2O3）下，荧光俘获效应也普遍存在于掺铒玻璃材料中，使得荧光寿命（τt）和荧光半高宽（FWHM）随样品的厚度和铒离子掺杂浓度增加而增大，导致

Effect of bismuth oxide introduction on spectroscopic properties of Er3+/Yb3+ co-doped aluminophosphate glasses

The absorption spectra, emission spectra and infrared spectra of Er3+/Yb3+ co-doped xBi(2)O(3)-(65 - x)P2O5-4Yb(2)O(3)-11Al(2)O(3)-5BaO-15Na(2)O were measured and investigated. Spontaneous emission probability, radiative lifetime and branching ratios of Er3+ were calculated according to the Judd-Ofelt theory. The role of substitution of Bi2O3 for P2O5 on luminescence of Er3+/Yb3+ co-doped aluminophosphate glasses has been investigated. The calculated radiative lifetimes (tau(rad)) for I-4(13/2) and I-4(11/2) were decreasing with Bi2O3 content increases, whereas the measured total lifetime (tau(meas)) for I-4(13/2) showed linearly increasing trends. The effect of Bi2O3 introduction on OH- groups was also discussed according to the IR transmittance spectra of glasses. It was found that FWHM of glasses were not affected with the substitution of Bi2O3 for P2O5. The emission spectra intensity increased with Bi2O3 content due to the decreases of phonon energy and OH- content in glasses. (C) 2007 Elsevier B.V. All rights reserved.

Calibration method for a photoelastic modulator with a peak retardation of less than a half-wavelength

A new calibration method for a photoelastic modulator is proposed. The calibration includes a coarse calibration and a fine calibration. In the coarse calibration, the peak retardation of the photoelastic modulator is set near 1.841 rad. In the fine calibration, the value of the zeroth Bessel function is obtained. The zeroth Bessel function is approximated as a linear equation to directly calculate the peak retardation. In experiments, the usefulness of the calibration method is verified and the calibration error is less than 0.014 rad. The calibration is immune to the intensity fluctuation of the light source and independent of the circuit parameters. The method specially suits the calibration of a photoelastic modulator with a peak retardation of less than a half-wavelength. (c) 2007 Optical Society of America.

导模法和温度梯度法生长r面蓝宝石(英文)

r面(0112)蓝宝石晶体可用作制备非极性GaN薄膜的衬底。采用温度梯度法(temperature gradient technique,TGT)和导模法(edge-defined film-fed crystal growth,EFG)生长了质量良好的r面蓝宝石晶体。利用双晶衍射、光学显微镜、光谱仪观察和分析了晶体的结构和缺陷。结果表明:TGT法生长的r蓝宝石晶体的双晶摇摆曲线对称性好,半高宽值仅为18 rad.s,位错密度为4×103 cm-2,透过率达83%,晶体质量好。与TGT法相比,EFG法生长的r面蓝宝石晶体的结构完整性较差,位错密度为5×105 cm-2,透过率仅为75%。但是EFG法具有晶体生长速度快,后期加工成本低的优点。

稻属的分子系统学研究

稻属（Oryza L）属于禾本科的稻族，主要分布于世界的热带和亚热带地区。一般认为稻属包括20个左右的野生种和2个栽培种，我国有4-5种。迄今为止，对于稻属中种的数目和划分;稻属中所包括的种类是否为一单系类群;各基因组之闻的关系和起源以及稻属的起源等等，学术界仍然存有争议。本文评述了稻属分子系统学研究的进展，研究中存在的问题以及对未来稻属系统学研究的展望。针对稻属的分子系统学研究中所存在的问题，运用核糖体DNA转录间隔区序列测定、随机扩增多态性DNA（RAD）和SSR-anchoredPCR等分子生物学的手段对稻属中全部23个种的来自中国和世界不同地区的材料开展了分子系统学的研究。所得主要结果如下： 1．对产于中国的三种野生稻和栽培稻的二个亚种的核糖体DNA第一转录间隔区进行了序列测定。 DNA序列分别用PAUP程序进行分支分析和用MEGA程序中的UPGMA和Neighbor-joining进行聚类分析，结果表明核糖体DNA转录间隔区序列适合于进行稻属的分子系统学研究。 2．用荧光自动测序法和人工同位素测序法测定了稻属23个种和4个外类群的转录间隔区的序列。所有的DNA序列用Clustal V程序排阵后，再用PAUP程序进行分支分析。结果表明： A．稻属中的23个种组成四个主要分支，分别相当于Vaughan(1989)的四个种复合体。 B．所有AA基因组的种都在一个分支中。除了O.meridionalis与其它种的关系相对较远外，AA基因组种间有一定程度的分化，但不大。 C．尽管BB、BBCC、CC、CCDD和EE基因组的种都在一个分支中，但它们之间的分化是较为明显的。O.australiensis与该分支中的其它种的关系相对较远。以上两个分支的关系较为密切，它们组成一个自然类群，是稻属的核心部分。 D．O.ridleyi与O.longiglumis非常近缘，它们组成一个分支。 E．O.meyeriana与O．granulata有非常密切的关系。O.brachyantha与O.meyeriana近缘，而与AA基因组的关系较远。O,schlechter/与Leersia hexandra近缘，而与稻属中其它种的关系较远。作为外类群的Porteresia coarctata与稻属的a brachyantha非常近缘，这有可能说明将它作稻属中的一员的观点是正确的。 3．用RAPD和ISSR技术对稻属23介种的36份材料以及Porteresia coar ctata和Leersia hexandra各1份材料进行PCR扩增。16个10-mer RAPD随机引物共扩增出368个多态条带，5个锚定SSR引物共扩增出1 16个多态条带。RAPD和ISSR扩增出的多态条带合在同一数据矩阵中，用NTSYS-pc程序进行聚类分析。得出的结果与ITS序列分支分析的结果相似。 A.从表征图上亦可区分出四个群。所有的AA基因组的种聚在一起，O.nivara与O.rufipogon的关系密切，两个种的界限不清楚，所以认为它们是一个种：O.rufipogon.。 B.分布于中国的O.officinalis与O.minuta非常近缘，而菲律宾的四倍体O.officinalis则与同是基因组的O.eichingeri和O.rhizomatis关系密切。EE基因组的O.australiensis与Officinalis群保持一种松散的联系。 C。具FF基因组的O.brachyantha与O.schlechteri近缘，它们与Porteresiacoarctata和Leersia hexandra关系的密切程度要大于它们与稻属其它种的关系。 D。最后讨论了RAPD和ISSR用予植物属内的系统发育研究存在的问题。本研究结果说明RAPD和ISSR适合于进行属内近缘种亲缘关系的研究。

五数苣苔(Bournea leiophylla)次生辐射对称花形成的分子机制和进化发育生物学研究

被子植物中，花对称性进化的一个重要方面就是从两侧对称向次生辐射对称的演化。唇形目是被子植物中以两侧对称花为主的类群，次生辐射对称花频繁发生。然而在分子发育水平上，除了模式植物金鱼草(Antirrhinum majus)和少数其他种外，从两侧对称花向次生辐射对称花演化的机制仍然是一个巨大的未被探索的领域。 在金鱼草和柳川鱼(Linaria vulgaris)中，腹部化反常整齐花的形成各自是由于CYC和LCYC的沉默所引起，这些基因沉默分别是由于转座子插入和DNA广泛甲基化所导致。在豆科(legumes)中，辐射对称花的形成是由于legCYC基因在所有五个花瓣均有表达，这相似于金鱼草中CYC基因同源异位表达所形成的背部化辐射对称花。然而，自然界中起源于不同的两侧对称花支系的许多次生辐射对称花好像并不是因为简单的花对称性基因功能丢失或者获得。因此，以模式植物突变体表型特征的分子机制作为研究出发点，通过对自然发生的次生辐射对称花进行详细研究探讨，有可能揭示两侧对称花向次生辐射对称花转变的新的演化途径，包括花对称性发育过程中不同基因的参与以及他们的表达在时间上的变化等。 苦苣苔科(Gesneriaceae)是唇形目(Lamiales sensu lato)其他类群的姊妹群, 以较弱的两侧对称花为特征，并拥有相当数量的次生辐射对称花种类;该科所拥有的辐射对称花属在唇形目所有科中占的比例最大。在苦苣苔科中，五数苣苔(Bournea leiophylla)是次生辐射对称花类群中具有两侧对称痕迹的代表类群，其花的发育过程显示出五数苣苔花经历了由花器官发育早期的两侧对称向成熟时期辐射对称的形态转变。这种发育模式暗示着五数苣苔的花可能起源于一个两侧对称花祖先;五数苣苔中控制花背腹非对称性的CYC类基因应该是有功能的，至少在花发育的早期是这样的。由于苦苣苔科和婆婆纳科(Veronicaceae)(金鱼草属于婆婆纳科)亲缘关系较近，而且CYC类基因的基本功能之一是导致背部雄蕊退化;因此五数苣苔中辐射对称花的形成很可能既不是由于CYC类基因失去，也不是因为CYC-类基因功能获得延伸或加强所致。在五数苣苔花发育过程中，从早期的两侧对称到成熟花的辐射对称的发育转变可能牵涉到TCP和MYB基因家族成员相互调节作用在时间和空间上的改变。因此，五数苣苔是探讨被子植物中次生辐射对称花新的进化途径的一个理想的候选材料。针对解决这一问题，我们对五数苣苔花进行了以下实验研究： 1 花器官发生过程的观察 成熟的五数苣苔花是辐射对称花，但是对花发育过程中花原基电镜扫描结果表明：在花器官起始和发育的早期，五数苣苔花是显著的两侧对称;但是随着进一步发育，这种两侧对称性逐步减弱，最后形成具有微弱两侧对称性痕迹的辐射对称花。 2 花对称性基因的克隆 我们应用RACE技术克隆得到了五数苣苔花对称性同源基因：BlDIV1、BlDIV2和BlRAD的翻译区全序列及其上下游非翻译区，得到了BlCYC1的3‘端翻译区和非翻译区序列。为了确定这些基因内含子的有无和位置，我们也从DNA中得到了相应同源基因的DNA序列，并且补全了BlCYC1的5‘端序列。同时也克隆到了一个没有在mRNA中得到的CYC同源基因BlCYC2。在该实验中我们第一次在金鱼草以外的类群中克隆得到了DIV和RAD的同源基因。 3 序列比较和分子系统发育分析 运用不同的比较软件和分子系统发育分析工具对五数苣苔的花对称性基因进行了比较和分析。结果表明：五数苣苔各种类型的花对称性基因和金鱼草的花对称基因在序列上是高度同源的，在分子系统发育上是非常近缘的。暗示着五数苣苔花对称性基因和金鱼草花对称性基因功能上的同源性。 4 花对称称性基因表达模式的分析 我们第一次运用组织原位杂交和RT-PCR技术对在金鱼草以外类群中所有已知类型花对称性同源基因的表达模式进行了实验研究。结果表明：五数苣苔花对称性基因的表达模式在花发育的早期类似于金鱼草;但是早期以后，BlCYC1和BlRAD被负调节，BlDIV的表达特异地在每个花瓣侧部边缘表达;这种表达结果和花的形态发生过程有很好的吻合。 上述研究表明：和金鱼草花对称基因的表达模式相比，五数苣苔三种类型花对称性基因在花发育过程中的时间和空间表达模式发生了改变;并且这种表达模式变化和五数苣苔花对称性由发育起始时期的两侧对称向成熟时期的辐射对称的转变是相互关联的。五数苣苔具有两侧对称性痕迹的辐射对称花和其他类群辐射对称花的比较显示：在五数苣苔中发育早期的两侧对称性应该是两侧对称性的遗迹;这是由于BlCYC1和BlRAD基因早期表达的保守性造成的。我们的结果揭示了一个新的花对称性演化路径：在花发育过程中，被CYC-like基因推动的RAD和DIV同源基因之间相互调节作用在时间和空间上的变化是花对称性从两侧对称向辐射对称转变或演化的基础;我们的发现还预示着：在一个调节网络的动态变化过程中，一个预先存在的两侧对称发育程序的修饰调节可能在被子植物次生辐射对称花多样性的形成中扮演重要角色。