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Calcium ion
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HIGHLY CONTROLLED DIFFUS
ION
OF
ION
-IMPLANTED ARSENIC BY MULTIPLE SCAN ELECTRON-BEAM HEATING
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SURFACE-STRUCTURE STUDIES OF ELECTRON-BEAM ANNEALED
ION
-IMPLANTED SILICON
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SCANNING
ION
MICROSCOPY AND MICROSECT
ION
ING OF ELECTRON-BEAM RECRYSTALLIZED SILICON ON INSULATOR DEVICES
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Ion
assisted growth of diamond
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Focused
ion
beam etching of GaN
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