2 resultados para SPS SPV germanio nanoporoso impiantazione

em Universidad Politécnica de Madrid


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Actualmente se está empezando a consolidar una nueva forma de gestionar la conservación y mantenimiento de la red viaria de las Administraciones Públicas, basándose en contratos de colaboración público-privadas (PPP). Las motivaciones que están provocando este movimiento son de diversa índole. Por un lado, en el seno de la Unión Europea, existen serias restricciones presupuestarias debido al alto endeudamiento del sector público, lo que está llevando a buscar la forma óptima de disminuir el endeudamiento público, sin dejar de prestar servicios a la sociedad como la conservación y mantenimiento de las redes viarias. Por esta vertiente, se trata de convertir contratos convencionales de conservación viaria a esquemas de colaboración público-privada, donde se transferiría al sector privado el riesgo de disponibilidad de la vía mediante el uso de indicadores de calidad y servicio. Con esta transferencia de riesgo, junto con la transferencia del riesgo de demanda/construcción, no consolidaría la deuda de la sociedad de propósito específico constituida para la gestión del contrato de colaboración público-privada dentro de las cuentas públicas, con lo que se conseguiría no aumentar el déficit público, permitiendo continuar ofreciendo el servicio demandado por la sociedad. Por otro lado, la segunda motivación del desarrollo de este tipo de contratos, no tan economicista como la anterior y más enfocada a la gestión, se trata de utilizar los contratos de gestión basados en el uso de indicadores de calidad de servicio para mejorar las prestaciones de la red viaria competencia de una Administración. Con el uso de estos indicadores, el gestor tiene una herramienta muy útil para controlar la actividad del sector privado y asegurar que se ofrece un buen servicio. En la presente tesis, la investigación se ha centrado más en la vertiente de los indicadores de calidad relacionados con la gestión eficiente de las vías objeto de conservación y mantenimiento mediante el empleo de contratos de gestión privada que utilicen este tipo de herramientas de control, monitorización y gestión. En una primera parte, la presente tesis estudia el estado de la red de carreteras, referido principalmente a España, comparando su estado con el resto de redes de carreteras de Europa, detectando las principales carencias de la misma, sobre todo en cuanto a la gestión y conservación de firmes. En un segundo bloque, la tesis analiza el estado del arte de los nuevos procedimientos de gestión de la conservación y mantenimiento basados en indicadores de calidad del servicio en el mundo, destacándose que se trata de un tema relativamente reciente, con gran interés para el sector de la gestión y financiación de infraestructuras viarias. Al ser tan novedoso, por la falta de experiencias previas, las distintas Administración, tanto propias como foráneas, han pecado de un exceso de celo a la hora de establecer los umbrales sobre los que giran los distintos indicadores de calidad de servicio que permiten controlar la gestión de la conservación y mantenimiento de la vía. Partiendo de la labor de análisis descrita, la tesis realiza una investigación más detallada de los indicadores de calidad de servicio correspondientes a firmes bituminosos, debido a que estos indicadores son los más delicados y decisivos a la hora de realizar una correcta gestión de la vía a largo plazo. Dentro de los indicadores de firmes bituminosos, se ha realizado un modelo específico de evolución de comportamiento a lo largo del tiempo de la regularidad superficial, parámetro básico para numerosas Administraciones y organismos investigadores para poder conocer la evolución de un firme a lo largo del tiempo. A esta metodología se le ha dado el nombre de Modelo JRB para evaluar la racionalidad económica de indicadores de calidad asociados a parámetros de firmes. El modelo propuesto básicamente evalúa el valor óptimo desde la perspectiva económica que ha de tener el parámetro técnico que defina alguna propiedad del firme, aplicado a la definición de los indicadores de calidad de servicio. Esta visión del valor umbral del indicador deja a un lado consideraciones de equidad o de cualquier otra índole, basándose más en una visión económica. La metodología del Modelo JRB se puede aplicar a cualquier indicador de calidad relacionado con firmes, ya que lo que se obtiene es el valor óptimo económico que debería tener el umbral del indicador de calidad. El Modelo JRB consta de varias fases. En las primeras etapas el Modelo realiza el cálculo de los costes totales de transporte utilizando como herramienta el software HDM-IV desarrollado por el Banco Mundial. En etapas posteriores, el Modelo realiza análisis de sensibilidad para distintas propuestas de sección de firme, intensidades de tráfico y restricciones al parámetro técnico que define el indicador de calidad de servicio. Como ejercicio práctico de cara a contrastar la metodología del Modelo JRB se ha realizado un Caso de Estudio. Se ha tomado un tramo teórico, con características similares a la red de carreteras española, y con una flota vehicular similar a la española, donde se ha elegido como indicador de calidad la regularidad superficial (IRI). Con las sensibilidades realizadas con el Modelo JRB, se ha determinado el rango de valores que debería tener un indicador de calidad basado en el IRI para que dichos valores fueran óptimos desde la perspectiva económica Nowadays is becoming a new way to manage O&M (operation and maintenance) in public road networks, based on PPP contracts (public-private partnership). There are several issues which are driving this trend. On the one hand, EU (European Union) has serious budgetary constraints due to the high public sector borrowing. EU politicians are looking for the best way to reduce public debt, keeping services to society such as O&M of road networks. For this aspect, conventional O&M contracts are switching to PPP scenarios, where availability risk would be transfer to private sector using PI (performance indicators), along with demand risk transfer With this risk transference, along with the transfer of demand/construction risk, SPV (specific purpose vehicle) debt doesn’t consolidate in public accounts, so deficit wouldn’t increase, allowing the continuation of services demanded by society. On the other hand, the second motivation for developing this kind of contracts, not so economist as above and more focused to management, it is about using O&M contracts based on the use of PI to improve road network maintenance. Using these indicators, manager has a very useful tool to monitor private sector activity and ensure that it is provided a good service. In this thesis, the research has been focused on PI quality aspect, related with efficient management of PPP contracts for roads, which use these tools for control, monitoring and management. In the first part, this thesis examines the state of road network, based mainly in Spain, comparing with other road networks in Europe, identifying the main gaps in it, especially with regard to the management and maintenance of pavements. In a second block, the thesis analyzes the state of art of new O&M contracts based on PI in the world, emphasizing that they are relatively recent. These kinds of contracts have a great interest in road management and financing sector. Administrations all around the world have launch tenders with very exigent PI thresholds due to several factors: this knowledge is a new area, the lack of previous experiences and the variety of Administrations which have bid these contracts. Building on the described analysis, thesis develops a more detailed research about PI for bituminous pavements, because these PI are the most delicate and decisive in making a proper long term road management. Among bituminous pavements PI, IRI (International Roughness Index) has been analyzed with more detail and has been developed a specific model of behaviour evolution over time for evenness (IRI), basic parameter for many administrations and research departments in order to know the evolution of a pavement over time. This methodology has been given the name of JRB Model to evaluate the economic rationality of performance indicators associated with pavements parameters. The proposed model basically evaluates the optimal value from an economic perspective it must have the technical parameter which defines some pavement characteristic applied to the definition of performance indicators. This point of view of indicator value threshold sets aside justice considerations or otherwise, based more on an economic perspective. JRB Model methodology can be applied to any performance indicator associated to pavements, because what you get is the economic optimum threshold should have the performance indicator. JRB Model consists of several phases. In the early stages, the Model calculates transport total cost using HDM-IV software, developed by the World Bank, as a tool. In later stages, the Model performs sensitivity analyzes for different pavement section, AADT and restrictions to the technical parameter which defines the performance indicator. As a practical exercise to test JRB Model methodology, it has done a Case Study. It has taken a theoretical section, with similar characteristics to Spanish road network, and a vehicles fleet similar to Spanish. Evenness (IRI) was chosen as a performance indicator. JRB Model calculated some sensitivities, which were useful to determined thresholds range for pavement performance indicators based on IRI to be optimal from an economic perspective.

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Los sistemas micro electro mecánicos (MEMS) han demostrado ser una exitosa familia de dispositivos que pueden usarse como plataforma para el desarrollo de dispositivos con aplicaciones en óptica, comunicaciones, procesado de señal y sensorización. Los dispositivos MEMS estándar suelen estar fabricados usando tecnología de silicio. Sin embargo, el rendimiento de estos MEMS se puede mejorar si se usan otros materiales. Por ejemplo, el diamante nanocristalino (NCD) ofrece unas excelentes propiedades mecánicas, transparencia y una superficie fácil de funcionalizar. Por otro lado, el sistema de materiales (In; Ga; Al)N, los materiales IIIN, se pueden usar para producir estructuras monocristalinas con alta sensibilidad mecánica y química. Además, el AlN se puede depositar por pulverización catódica reactiva sobre varios substratos, incluyendo NCD, para formar capas policristalinas orientadas con alta respuesta piezoeléctrica. Adicionalmente, tanto el NCD como los materiales III-N muestran una gran estabilidad térmica y química, lo que los hace una elección idónea para desarrollar dispositivos para aplicaciones para alta temperatura, ambientes agresivos e incluso para aplicaciones biocompatibles. En esta tesis se han usado estos materiales para el diseño y medición de demostradores tecnológicos. Se han perseguido tres objetivos principales: _ Desarrollo de unos procesos de fabricación apropiados. _ Medición de las propiedades mecánicas de los materiales y de los factores que limitan el rendimiento de los dispositivos. _ Usar los datos medidos para desarrollar dispositivos demostradores complejos. En la primera parte de esta tesis se han estudiado varias técnicas de fabricación. La estabilidad de estos materiales impide el ataque y dificulta la producción de estructuras suspendidas. Los primeros capítulos de esta disertación se dedican al desarrollo de unos procesos de transferencia de patrones por ataque seco y a la optimización del ataque húmedo sacrificial de varios substratos propuestos. Los resultados de los procedimientos de ataque se presentan y se describe la optimización de las técnicas para la fabricación de estructuras suspendidas de NCD y materiales III-N. En un capítulo posterior se estudia el crecimiento de AlN por pulverización catódica. Como se ha calculado en esta disertación para obtener una actuación eficiente de MEMS, las capas de AlN han de ser finas, típicamente d < 200 nm, lo que supone serias dificultades para la obtención de capas orientadas con respuesta piezoeléctrica. Las condiciones de depósito se han mapeado para identificar las fronteras que proporcionan el crecimiento de material orientado desde los primeros pasos del proceso. Además, durante la optimización de los procesos de ataque se estudió un procedimiento para fabricar películas de GaN nanoporoso. Estas capas porosas pueden servir como capas sacrificiales para la fabricación de estructuras suspendidas de GaN con baja tensión residual o como capas para mejorar la funcionalización superficial de sensores químicos o biológicos. El proceso de inducción de poros se discutirá y también se presentarán experimentos de ataque y funcionalización. En segundo lugar, se han determinado las propiedades mecánicas del NCD y de los materiales III-N. Se han fabricado varias estructuras suspendidas para la medición del módulo de Young y de la tensión residual. Además, las estructuras de NCD se midieron en resonancia para calcular el rendimiento de los dispositivos en términos de frecuencia y factor de calidad. Se identificaron los factores intrínsecos y extrínsecos que limitan ambas figuras de mérito y se han desarrollado modelos para considerar estas imperfecciones en las etapas de diseño de los dispositivos. Por otra parte, los materiales III-N normalmente presentan grandes gradientes de deformación residual que causan la deformación de las estructuras al ser liberadas. Se han medido y modelado estos efectos para los tres materiales binarios del sistema para proporcionar puntos de interpolación que permitan predecir las características de las aleaciones del sistema III-N. Por último, los datos recabados se han usado para desarrollar modelos analíticos y numéricos para el diseño de varios dispositivos. Se han estudiado las propiedades de transducción y se proporcionan topologías optimizadas. En el último capítulo de esta disertación se presentan diseños optimizados de los siguientes dispositivos: _ Traviesas y voladizos de AlN=NCD con actuación piezoeléctrica aplicados a nanoconmutadores de RF para señales de alta potencia. _ Membranas circulares de AlN=NCD con actuación piezoeléctrica aplicadas a lentes sintonizables. _ Filtros ópticos Fabry-Pérot basados en cavidades aéreas y membranas de GaN actuadas electrostáticamente. En resumen, se han desarrollado unos nuevos procedimientos optimizados para la fabricación de estructuras de NCD y materiales III-N. Estas técnicas se han usado para producir estructuras que llevaron a la determinación de las principales propiedades mecánicas y de los parámetros de los dispositivos necesarios para el diseño de MEMS. Finalmente, los datos obtenidos se han usado para el diseño optimizado de varios dispositivos demostradores. ABSTRACT Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) have proven to be a successful family of devices that can be used as a platform for the development of devices with applications in optics, communications, signal processing and sensorics. Standard MEMS devices are usually fabricated using silicon based materials. However, the performance of these MEMS can be improved if other material systems are used. For instance, nanocrystalline diamond (NCD) offers excellent mechanical properties, optical transparency and ease of surface functionalization. On the other hand, the (In; Ga; Al)N material system, the III-N materials, can be used to produce single crystal structures with high mechanical and chemical sensitivity. Also, AlN can be deposited by reactive sputtering on various substrates, including NCD, to form oriented polycrystalline layers with high piezoelectric response. In addition, both NCD and III-N materials exhibit high thermal and chemical stability, which makes these material the perfect choice for the development of devices for high temperatures, harsh environments and even biocompatible applications. In this thesis these materials have been used for the design and measurement of technological demonstrators. Three main objectives have been pursued: _ Development of suitable fabrication processes. _ Measurement of the material mechanical properties and device performance limiting factors. _ Use the gathered data to design complex demonstrator devices. In a first part of the thesis several fabrication processes have been addressed. The stability of these materials hinders the etching of the layers and hampers the production of free standing structures. The first chapters of this dissertation are devoted to the development of a dry patterning etching process and to sacrificial etching optimization of several proposed substrates. The results of the etching processes are presented and the optimization of the technique for the manufacturing of NCD and III-N free standing structures is described. In a later chapter, sputtering growth of thin AlN layers is studied. As calculated in this dissertation, for efficient MEMS piezoelectric actuation the AlN layers have to be very thin, typically d < 200 nm, which poses serious difficulties to the production of c-axis oriented material with piezoelectric response. The deposition conditions have been mapped in order to identify the boundaries that give rise to the growth of c-axis oriented material from the first deposition stages. Additionally, during the etching optimization a procedure for fabricating nanoporous GaN layers was also studied. Such porous layers can serve as a sacrificial layer for the release of low stressed GaN devices or as a functionalization enhancement layer for chemical and biological sensors. The pore induction process will be discussed and etching and functionalization trials are presented. Secondly, the mechanical properties of NCD and III-N materials have been determined. Several free standing structures were fabricated for the measurement of the material Young’s modulus and residual stress. In addition, NCD structures were measured under resonance in order to calculate the device performance in terms of frequency and quality factor. Intrinsic and extrinsic limiting factors for both figures were identified and models have been developed in order to take into account these imperfections in the device design stages. On the other hand, III-N materials usually present large strain gradients that lead to device deformation after release. These effects have been measured and modeled for the three binary materials of the system in order to provide the interpolation points for predicting the behavior of the III-N alloys. Finally, the gathered data has been used for developing analytic and numeric models for the design of various devices. The transduction properties are studied and optimized topologies are provided. Optimized design of the following devices is presented at the last chapter of this dissertation: _ AlN=NCD piezoelectrically actuated beams applied to RF nanoswitches for large power signals. _ AlN=NCD piezoelectrically actuated circular membranes applied to tunable lenses. _ GaN based air gap tunable optical Fabry-Pérot filters with electrostatic actuation. On the whole, new optimized fabrication processes has been developed for the fabrication of NCD and III-N MEMS structures. These processing techniques was used to produce structures that led to the determination of the main mechanical properties and device parameters needed for MEMS design. Lastly, the gathered data was used for the design of various optimized demonstrator devices.