CMOS integration of AlN based piezoelectric microcantilevers

El gran crecimiento de los sistemas MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) así como su presencia en la mayoría de los dispositivos que usamos diariamente despertó nuestro interés. Paralelamente, la tecnología CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) es la tecnología más utilizada para la fabricación de circuitos integrados. Además de ventajas relacionadas con el funcionamiento electrónico del dispositivo final, la integración de sistemas MEMS en la tecnología CMOS reduce significantemente los costes de fabricación. Algunos de los dispositivos MEMS con mayor variedad de aplicaciones son los microflejes. Estos dispositivos pueden ser utilizados para la extracción de energía, en microscopios de fuerza atómica o en sensores, como por ejemplo, para biodetección. Los materiales piezoeléctricos más comúnmente utilizados en aplicaciones MEMS se sintetizan a altas temperaturas y por lo tanto no son compatibles con la tecnología CMOS. En nuestro caso hemos usado nitruro de alumino (AlN), que se deposita a temperatura ambiente y es compatible con la tecnología CMOS. Además, es biocompatible, y por tanto podría formar parte de un dispositivo que actúe como biosensor. A lo largo de esta tesis hemos prestado especial atención en desarrollar un proceso de fabricación rápido, reproducible y de bajo coste. Para ello, todos los pasos de fabricación han sido minuciosamente optimizados. Los parámetros de sputtering para depositar el AlN, las distintas técnicas y recetas de ataque, los materiales que actúan como electrodos o las capas sacrificiales para liberar los flejes son algunos de los factores clave estudiados en este trabajo. Una vez que la fabricación de los microflejes de AlN ha sido optimizada, fueron medidos para caracterizar sus propiedades piezoeléctricas y finalmente verificar positivamente su viabilidad como dispositivos piezoeléctricos. ABSTRACT The huge growth of MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) as well as their presence in most of our daily used devices aroused our interest on them. At the same time, CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) technology is the most popular technology for integrated circuits. In addition to advantages related with the electronics operation of the final device, the integration of MEMS with CMOS technology reduces the manufacturing costs significantly. Some of the MEMS devices with a wider variety of applications are the microcantilevers. These devices can be used for energy harvesting, in an atomic force microscopes or as sensors, as for example, for biodetection. Most of the piezoelectric materials used for these MEMS applications are synthesized at high temperature and consequently are not compatible with CMOS technology. In our case we have used aluminum nitride (AlN), which is deposited at room temperature and hence fully compatible with CMOS technology. Otherwise, it is biocompatible and and can be used to compose a biosensing device. During this thesis work we have specially focused our attention in developing a high throughput, reproducible and low cost fabrication process. All the manufacturing process steps of have been thoroughly optimized in order to achieve this goal. Sputtering parameters to synthesize AlN, different techniques and etching recipes, electrode material and sacrificial layers are some of the key factors studied in this work to develop the manufacturing process. Once the AlN microcantilevers fabrication was optimized, they were measured to characterize their piezoelectric properties and to successfully check their viability as piezoelectric devices.

Desarrollo de una aplicación web con Spring Framework para un gestor de un recetario

Este proyecto tiene como intención llevar a cabo el desarrollo de una aplicación basada en tecnologías Web utilizando Spring Framework, una infraestructura de código abierto para la plataforma Java. Se realizará primero un estudio teórico sobre las características de Spring para luego poder implementar una aplicación utilizando dicha tecnología como ejemplo práctico. La primera parte constará de un análisis sobre las características más significativas de Spring, recogiendo de esta forma información sobre todos los componentes del framework necesarios para desarrollar una aplicación genérica. El objetivo es descubrir y analizar cómo Spring facilita la implementación de un proyecto con arquitectura MVC y cómo permite integrar seguridad, internacionalización y otros conceptos de forma transparente. La segunda parte, el desarrollo de la aplicación web, sirve como demostración práctica de cómo utilizar los conocimientos recogidos sobre Spring. Se desarrollará una aplicación que gestiona un recetario generado por una comunidad de usuarios. La aplicación contiene un registro de usuarios que deberán autenticarse para poder ver sus datos personales y modificarlos si lo desean. Dependiendo del tipo de usuarios, tendrán acceso a distintas zonas de la aplicación y tendrán un rango distinto de acciones disponibles. Las acciones principales son la visualización de recetas, la creación de recetas, la modificación o eliminación de recetas propias y la modificación o eliminación de recetas de los demás usuarios. Las recetas constarán de un nombre, una descripción, una fotografía del resultado, tiempos estimados, dificultad estimada, una lista de ingredientes y sus cantidades y finalmente una serie de pasos con fotografías demostrativas si se desea añadir. Los administradores, un tipo específico de usuarios, podrán acceder a una lista de usuarios para monitorizarlos, modificarlos o añadir y quitarles permisos. ABSTRACT The purpose of this project is the development of an application based on Web technologies with the use of Spring Framework, an open-source application framework for the Java platform. A theoretical study on the characteristics of Spring will be performed first, followed by the implementation of an application using said technology to show as object lesson. The first part consists of an analysis of the most significant features of Spring, thus collecting information on all components of the framework necessary to develop a generic app. The goal is to discover and analyze how Spring helps develop a project based on a MVC architecture and how it allows seamless integration of security, internationalization and other concepts. The second part, the development of the web application, serves as a practical demonstration of how to use the knowledge gleaned about Spring. An application will be developed to manage a cookbook generated by a community of users. The application has a set of users who have to authenticate themselves to be able to see their personal data and modify it if they wish to do so. Depending on the user type, the user will be able to access different parts of the application and will have a different set of possible actions. The main possible actions are: creation recipes, modification or deletion of owned recipes and the modification and deletion of any recipe. The recipes consist its name, a description, a photograph, estimated times and difficulties, a list of ingredients along with their quantities and lastly a series of steps to follow along with demonstrative photographs if desired; and other information such as categories or difficulties. The administrators, a specific type of users, will have access to a list of users where they can monitor them, modify them or grant and remove privileges.