Plasma-assisted atomic layer deposition for microelectronics applications
| Cobertura |
621.3815 |
|---|---|
| Data(s) |
2016
|
| Resumo |
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Dissertation, 2016 von M. Sc.Akinwumi Abimbola Amusan Literaturverzeichnis: Blatt 153-170 |
| Formato |
1 Online-Ressource (PDF-Datei: xviii, 170 Blätter, 28,64 MB) |
| Identificador |
urn:nbn:de:gbv:ma9:1-8379 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:ma9:1-8379 system:870137387 |
| Idioma(s) |
eng |
| Publicador |
[s.n.] |
| Tipo |
text thesis |
