Desarrollo de un sisetma biosensor opto-mecánico basado en cantilevers


Autoria(s): Fariña Santana, E. David
Contribuinte(s)

Lechuga Gómez, Laura

Álvarez Sánchez, Mar

Sendra Sendra, José Ramón

Instituto Universitario de Microelectrónica Aplicada (IUMA)

Data(s)

21/03/2015

21/03/2015

2014

Resumo

Programa de doctorado: Ingeniería de Telecomunicación Avanzada

[ES] El presente trabajo expone la puesta en marcha de un sistema biosensor basado en un microcantilever de óxido de silicio que actua como una guía de onda por la que se propaga la luz, por ello se han bautizado como “cantilever óptico”. La detección de su movimiento se realiza mediante una guía de onda próxima a su extremo libre, de tal forma que su deflexión modifica el coeficiente de acoplamiento de la luz entre ambas guías, variando la potencia óptica de salida, detectada por un fotodetector. La principal ventaja de esta solución es su capacidad de integración en comparación con el método tradicional de lectura del movimiento de microcantilevers, donde un haz láser incide en su extremo libre y su reflejo es recogido por un detector de posición.

Identificador

http://hdl.handle.net/10553/13001

707903

Idioma(s)

spa

Direitos

info:eu-repo/semantics/openAccess

by-nc-nd

Palavras-Chave #330790 Microelectrónica #331104 Dispositivos electroópticos #220919 Óptica física
Tipo

info:eu-repo/semantics/doctoralThesis