Phosphorus ion implantation in SiC: influence of the annealing conditions on dopant activation and defects
| Contribuinte(s) |
Cavallini, Anna |
|---|---|
| Data(s) |
17/05/2007
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| Formato |
application/pdf |
| Identificador |
http://amsdottorato.unibo.it/329/1/Canino-PhD_thesis.pdf urn:nbn:it:unibo-317 Canino, Mariaconcetta (2007) Phosphorus ion implantation in SiC: influence of the annealing conditions on dopant activation and defects, [Dissertation thesis], Alma Mater Studiorum Università di Bologna. Dottorato di ricerca in Fisica <http://amsdottorato.unibo.it/view/dottorati/DOT244/>, 19 Ciclo. DOI 10.6092/unibo/amsdottorato/329. |
| Idioma(s) |
en |
| Publicador |
Alma Mater Studiorum - Università di Bologna |
| Relação |
http://amsdottorato.unibo.it/329/ |
| Direitos |
info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Palavras-Chave | #FIS/03 Fisica della materia |
| Tipo |
Tesi di dottorato NonPeerReviewed |
