Análise por meio de espectroscopia de emissão óptica das espécies ativas em nitretação iônica e gaiola catódica

Plasma process like ionic nitriding and cathodic cage plasma nitriding are utilized in order to become hard surface of steels. The ionic nitriding is already accepted in the industry while cathodic cage plasma nitriding process is in industrial implementation stage. Those process depend of plasma parameters like electronic and ionic temperature (Te, Ti), species density (ne, ni) and of distribution function of these species. In the present work, the plasma used to those two processes has been observed through Optical Emission Spectroscopy OES technique in order to identify presents species in the treatment ambient and relatively quantify them. So plasma of typical mixtures like N2 H2 has been monitored through in order to study evolution of those species during the process. Moreover, it has been realized a systematic study about leaks, also thought OES, that accomplish the evolution of contaminant species arising because there is flux of atmosphere to inside nitriding chamber and in what conditions the species are sufficiently reduced. Finally, to describe the physic mechanism that acts on both coating techniques ionic nitriding and cathodic cage plasma nitriding

Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior

Processos a plasma como nitretação iônica e nitrtetação por gaiola catódica são utilizados para endurecimento de superfícies de aços. A nitretação iônica sendo já consolidada em aplicações industriais enquanto que o processo por gaiola catódica ainda se encontra em estágio de pesquisa. Esses processos dependem dos parâmetros de plasma como temperatura eletrônica e de íons (Te, Ti), densidade de espécies (ne, ni,) e da função de distribuição das mesmas. No presente trabalho, o plasma utilizado para esses dois processos foi diagnosticado utilizando a técnica de Espectroscopia de Emissão Óptica EEO para identificar as espécies presentes no ambiente de tratamento e quantifica-las relativamente. Assim, plasma de mistura gasosa típica como N2 H2 foi monitorado, com o intuito de estudar a evolução dessas espécies durante o processo. Além disso, foi realizado um estudo sistemático, também através de EEO, que acompanha a evolução das espécies contaminantes surgidas em vazamentos de modo a buscar condições onde as mesmas são suficientemente reduzidas. Finalmente busca-se, através do diagnóstico de plasma por EEO, descrever o mecanismo físico de atuação das duas técnicas de tratamento: nitretação iônica e gaiola catódica