Determinação da posição reticular de F em Si


Autoria(s): Bernardi, Fabiano
Contribuinte(s)

Santos, Jose Henrique Rodrigues dos

Data(s)

06/06/2007

2006

Resumo

Neste trabalho, estudamos a posição de átomos de F na estrutura cristalina do Si. As amostras foram pré-amorfizadas utilizando um feixe de Si de 200 keV e, após, implantadas com F. Então recristalizamos a camada amorfa através do processo de Epitaxia de Fase Sólida (EFS). Empregamos as técnicas de Espectrometria de Retroespalhamento Rutherford, na condição de canalização iônica, e de Análise por Reação Nuclear (NRA), através da reação ressonante ( ) O p F 16 19 , αγ , à 5 , 340 keV, para determinar a posição dos átomos de F e, depois, reproduzimos os resultados experimentais através do programa de simulação computacional chamado Simulação Adaptada de Canalização de Íons Rápidos em Sólidos (CASSIS - Channeling Adapted Simulation of Swift Ions in Solids). Os resultados obtidos apontam para duas possíveis combinações lineares distintas de sítios. Uma delas concorda com a proposta teórica de Hirose et al. (Materials Science & Engineering B – 91-92, 148, 2002), para uma condição experimental similar. Nessa configuração, os átomos de F estão na forma de complexos entre átomos de flúor e vacâncias (F-V). A outra combinação ainda não foi proposta na literatura e também pode ser pensada como um tipo de complexo F-V.

Formato

application/pdf

Identificador

http://hdl.handle.net/10183/5727

000518814

Idioma(s)

por

Direitos

Open Access

Palavras-Chave #Fisica da materia condensada #Difusao #Amorfizacao #Espectroscopia de retroespalhamento Rutheford - RBS #Impurezas #Fluor #Silicio #Implantacao de ions
Tipo

Dissertação