Uma Técnica de depuração e teste de circuitos integrados usando um microscópio eletrônico

O trabalho tem por objetivo mostrar uma técnica de depuração de circuitos integrados VLSI, utilizando um microscópio eletrônico de varredura (MEV) aliado ao fenômeno de contraste por tensão. São abordadas a descrição da ferramenta, técnicas de observação e depuração dos circuitos, bem como, são sugeridas estratégias de concepção visando facilitar a depuração dos circuitos. Embora tenham sido utilizados circuitos NMOS para realizar as experiências, a técnica é aplicável a circuitos MOS em geral. Resultados experimentais, utilizando circuitos projetados no PGCC, são apresentados.