Surface passivation and optical characterization of Al2O3/a-SiCx stacks on c-Si substrates
| Contribuinte(s) |
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies |
|---|---|
| Resumo |
Postprint (published version) |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
eng |
| Direitos |
Restricted access - publisher's policy |
| Palavras-Chave | #Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica i telecomunicacions::Microelectrònica #Nanoelectronics #Nanoelectrònica |
| Tipo |
info:eu-repo/semantics/other |
