A study of electromagnetic shielding properties of Ni79Fe16Mo5/copper films

The plane wave electromagnetic interference (EMI) shielding properties of DC sputtered Ni79Fe16Mo5 and copper layers were studied according to ASTM D 4935-89 on frequency range of 50 MHz – 2.5 GHz and RF magnetic shielding effectiveness by shielded magnetic loop probes. Results show that Ni79Fe16Mo5 provides better RF magnetic shielding above the layer thickness of approximately 120 nm. Copper provides better plane wave shielding effectiveness. The effect of shield internal interfaces was studied by depositing thin multilayer structures with and without a dielectric spacer layer.

Työssä tutkittiin sputteroitujen kupari ja Ni79Fe16Mo5 pinnoitteiden sähkömagneettisia vaimennusominaisuuksia. Tasoaallon vaimenemista ja heijastusta mitattiin standardin ASTM D 4935-89 mukaisesti taajuusalueella 50 MHz – 2.5 GHz. RF taajuuksisen magneettikentän vaimennusta mitatiin magneettikentälle herkillä silmukka-antenneilla. Yksittäisen kerroksen materiaaliominaisuuksien vaikutusta arvioitiin suojausteorian perusteella. Monikerrospinnoitteiden sisäisten rajapintojen vaikutusta mitattiin ohuista monikerros kalvoista.