Reconstruction of the SiO2 structure damaged by low-energy Ar-implanted ions


Autoria(s): Garrido Fernández, Blas; Samitier i Martí, Josep; Bota Ferragut, Sebastián Antonio; Moreno, J. A.; Montserrat i Martí, Josep; Morante i Lleonart, Joan Ramon
Contribuinte(s)

Universitat de Barcelona

Data(s)

02/05/2012

Identificador

http://hdl.handle.net/2445/24747

Idioma(s)

eng

Publicador

American Institute of Physics

Direitos

(c) American Institute of Physics, 1998

info:eu-repo/semantics/openAccess

Palavras-Chave #Implantació d'ions #Espectroscòpia #Spectrum analysis #Ion implantation
Tipo

info:eu-repo/semantics/article