Millora de la resposta electro-mecànica per a ressonadors d'alta freqüència basats en MEMS
| Contribuinte(s) |
Agència de Gestió d'Ajuts Universitaris i de Recerca Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica |
|---|---|
| Data(s) |
18/07/2008
|
| Resumo |
Report for the scientific sojourn at the Department of Micro and Nanotechnology of the Technical University of Denmark from August until December 2006. The research was focused on designing and carrying out a technological process for fabricating high frequency resonators with dielectric solid transducer gaps. Projecte de recerca elaborat a partir d’una estada al Department of Micro and Nanotechnology de la Technical University of Denmark entre agost i desembre del 2006. La finalitat ha estat la fabricació de dispositius MEMS resonants, utilitzant materials dialèctics per a la transducciò capacitiva. |
| Formato |
37 p. 4621469 bytes application/pdf |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
eng |
| Relação |
Els ajuts de l'AGAUR;2006BE00523 |
| Direitos |
Aquest document està subjecte a una llicència d'ús de Creative Commons, amb la qual es permet copiar, distribuir i comunicar públicament l'obra sempre que se'n citin l'autor original i l’Agència i no se'n faci cap ús comercial ni obra derivada, tal com queda estipulat en la llicència d'ús (http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/es/) |
| Palavras-Chave | #Ressonadors #Sistemes microelectromecànics #621.3 - Enginyeria elèctrica. Electrotècnia. Telecomunicacions |
| Tipo |
info:eu-repo/semantics/report |
