海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的研制
| Data(s) |
13/10/2006
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| Resumo |
本文介绍了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的结构及其特点,采用独特的传动机构,靶极结构及控制方式实现了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜。 中国真空学会 |
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3 |
| Fonte |
魏海波; 孙清; 池世春; 张晶宇.海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的研制.见：.中国真空学会2006年学术会议论文摘要集,,,75 |
| Palavras-Chave | #泡沫镍 #磁控溅射 #海绵 #卷绕系统 |
| Tipo |
会议论文 |
