纳米定位平台—基于“碰撞驱动法”


Autoria(s): 原培章; 李小凡; 王忠
Data(s)

01/12/2010

Resumo

<正> 纳米技术(纳米尺度:1-102mm)是21世纪全球重大的高技术。纳米定位平台是微LSI制造、MEMS制造、超精密加工和生物工程等领域高度发展的难题。高精度定位平台为实现纳米位移,国际学术界提出很多新思想、新方法。有“振动驱动法”、“尺蠖驱动法”以及“冲击驱动法”。中科院沈阳自动化研究所经过理论和试验研究,提出“碰撞驱动法”。

中国真空学会表面与纳米科学与技术专业委员会、中国科学院物理研究所北京真空物理开放实验室

Identificador

http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/6768

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/171909

Idioma(s)

中文

Direitos

1

Fonte

原培章; 李小凡; 王忠.纳米定位平台—基于“碰撞驱动法”.见:.2001年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集,,,94-95

Tipo

会议论文