激光引发Cl_2和CH_2Cl_2对Cu的化学刻蚀

本文利用氩离子激光引发的化学反应,对铜片进行刻蚀研究,给出了刻蚀速率与激光能量和工作气体压强的关系曲线,得到 Cu—Cl_2体系的光刻能量阀值低于 Cu—CH_2Cl_2体系的结果并讨论了这一差别的原因。