多层结构半导体膜的XPS和AES分析

本文采用VG ESCALAB MK-Ⅱ电子能谱仪对多层结构的薄膜Cu_2S-CdS太阳电池进行了X-光电子能谱、俄歇电子谱和深度分析。指出了电池表面的组成、结构和状态。由于制备工艺和处理方法的不同,电池表面和界面会发生变化,从而影响薄膜Cu_2S-CdS太阳电池的电性能和稳定性。本文为电池机理的研究提供了一些数据。