电子束法沉积ITO膜的XPS研究
| Data(s) |
1993
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|---|---|
| Resumo |
采用电子束蒸发法制备了均匀、致密、透明导电的ITO膜。讨论了其光电性能,并用XPS技术研究了ITO膜的表面组成、结构和状态。 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
张瑞峰;李兴林;于英 .电子束法沉积ITO膜的XPS研究 ,真空科学与技术 ,1993,13 (4 ):255-258 |
| Palavras-Chave | #电子束 #沉积 #XPS |
| Tipo |
期刊论文 |
