Cd_2SnO_4等四种半导体薄膜制备及性能研究

采用喷涂热解法制备了以Cd2SnO4为代表的四种半导体薄膜，即Cd2SDO4，In2SnO5，TiSnO4及Zn2SnO4。测试了薄膜的半导体、光学和电学性能，得到了In2SnO5，Cd2SpO4薄膜电阻率的范围在10（－3）Ω·cm和高的透射比（可见光）；TiSnO4薄膜高的反射比（红外光）；同时，比较溅射法对结果进行了讨论。