CMOS 工艺兼容的硅基光电子集成回路关键技术研究

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Autoria(s): 王伟

Contribuinte(s)	陈弘达
Data(s)	2011
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20760 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/143490
Fonte	王伟.CMOS 工艺兼容的硅基光电子集成回路关键技术研究[博士].北京.中国科学院研究生院.2011
Palavras-Chave	#微电子学
Tipo	学位论文