Cr/Al系统的离子束混合
| Contribuinte(s) |
吴美珍 |
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| Data(s) |
1988
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| Resumo |
用600kev的kr~+对Cr/Al薄膜系统进行了离子束混合研究。实验样品是在单晶硅上蒸镀约5000 A厚的铝膜，相继再上所需不同厚度的铬膜。Kr~+注入剂量范围在2.0 * 10~(15)～2.5 * 10~(16) kr~+/cm~2之间。用2.0 Mev的α粒子对注入前后的样品进行了背散射分析，发现铝谱的前沿和铬谱的后沿有明显的展宽，且随剂量的增大而加宽，Cr/Al界面原子混合扩展量的平方α~2注入剂量φ成线性关系；当注入剂量大于1.0 * 10~(16) kr~+/cm~2时，铝谱前沿和铬谱的后沿出现有明显的平坦，经理论拟合计算，发现有化合物形成，x射线衍射实验结果证明化合物形式为Al_(13)Cr_2。本文还得到了混合量Q与剂量的线性关系。最后，对混合机制进行了讨论 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
刘惠珍.Cr/Al系统的离子束混合.[硕士学位论文].中科院近代物理研究所.1988 |
| Tipo |
学位论文 |
