ECR离子源及其引出系统

本论文第一部分主要描述 GCR（电子回旋共振）离子源的现状、发展和ECR离子源的重要物理机制。在此基础上，着重在于介绍我参加安装和调试的 2.45GHz 全永磁单电荷态 ECR 离子源和 14.5GHz 高电荷电荷态 ECR 离子源的结构、磁场场型、引出系统、微波系统、性能和调试结果，并简要介绍某些金属离子的产生方法。第二部分首先介绍了离子源引出系统的要求、离子源引出系统的分类、衡量出了系统好坏的各参数。其次阐述了 ECR 离子源引出系统的基本原理。然后给出了 14.5GHz 高电荷态 ECR 离子源的引出实验结果、模拟计算结果和它的引出系统结构，并设计了一套适合于 14.5GHz 高电荷态 ECR 离子源的三电极引出系统。最后，给出了 2.45GHz 单电荷态 ECR 离子源的引出系统设计和它的实验结果。