离子注入ZnO薄膜的拉曼光谱研究；Raman investigation of ion-implanted ZnO films

室温下,用80keVN+和400keVXe+离子注入ZnO薄膜,注入剂量分别为5.0×1014—1.0×1017/cm2和2.0×1014—5.0×1015/cm2.利用拉曼散射技术对注入前后的ZnO薄膜进行光谱测量和分析,研究了样品的拉曼光谱随离子注入剂量的变化规律.实验结果发现,未进行离子注入的样品在99,435cm-1处出现两个ZnO六方纤锌相的特征峰E2low和E2high;N+和Xe+注入样品在130和578cm-1附近均出现新峰(包),N+注入样品还在274cm-1出现新峰,而Xe+注入样品在470cm-1附近出现另一新峰包,且这些新峰(包)的相对面积随注入剂量的增大而增大.通过N+和Xe+注入样品拉曼光谱的对比分析,并考虑到注入离子在样品中产生的原子位移损伤,对新峰(包)对应的振动模来源进行了分析,探索了离子注入在ZnO薄膜中引起的结构变化.