Si中掺杂原子的瞬间增强扩散现象及抑制方法
| Data(s) |
30/09/2001
|
|---|---|
| Resumo |
简要地介绍了单晶 Si中注入掺杂原子在热激活退火中发生的瞬间增强扩散现象 ,综述了该现象发生的可能的微观机制和目前提出的几种抑制方法 ,展望了高能重离子在该领域的应用前景 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
刘昌龙.Si中掺杂原子的瞬间增强扩散现象及抑制方法, 原子核物理评论, 2001-09-30, 2001( 03):164-168 |
| Palavras-Chave | #注入掺杂 #瞬间增强扩散 #单晶Si #高能重离子 |
| Tipo |
期刊论文 |
