串联分子泵获得10~(-9)Pa真空的实验研究

Autoria(s): 蔡晓红,杨晓天,曹柱荣,张军辉,卢荣春,杨威,郝斌干
Data(s)

25/09/2003
Resumo

介绍了采用两级分子泵串联系统获得 10 - 9Pa真空度的实验研究。实验证明 ,通过串联一台分子泵 ,可以有效地提高系统对氢气的压缩比 ,显著提高系统的极限压强。
Identificador

http://ir.impcas.ac.cn/handle/113462/4093

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/130770
Idioma(s)

中文
Fonte

蔡晓红,杨晓天,曹柱荣,张军辉,卢荣春,杨威,郝斌干.串联分子泵获得10~(-9)Pa真空的实验研究, 真空, 2003-09-25, 2003( 04):42-44
Palavras-Chave #真空获得 #分子泵 #极限压强
Tipo

期刊论文
Acesso ao item digital