氮化碳薄膜的制备及研究现状
Data(s) |
25/12/2003
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Resumo |
氮化碳具有良好的物理、化学性质和广泛的应用前景。目前主要采用化学气相沉积法、离子束溅射法、激光等离子体沉积和激光烧蚀、离子镀、离子注入法等制备方法。文中对氮化碳的结构、性质、制备、性能表征以及研究现状进行了比较详细的介绍。 |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
宋银,侯明东,王志光,赵志明,段敬来.氮化碳薄膜的制备及研究现状, 高压物理学报, 2003-12-25, 2003( 04):311-318 |
Palavras-Chave | #氮化碳薄膜 #制备 #性能表征 |
Tipo |
期刊论文 |