铅离子辐照注碳4H-SiC的红外光谱特性研究
| Data(s) |
20/06/2006
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| Resumo |
主要研究了铅离子辐照注碳4H-SiC样品在3个不同退火温度下傅立叶变换红外光谱的变化。从红外谱的变化可以知道铅辐照注碳4H-SiC样品在一定深度内出现了非晶层,波数在960—1 450 cm-1范围内出现了干涉带,干涉带强度随着退火温度的升高而变弱。1 373 K退火后样品的卢瑟福背散射分析结果显示,一定深度内硅原子的背散射产额明显减少。 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
周丽宏;张崇宏;宋银;杨义涛;.铅离子辐照注碳4H-SiC的红外光谱特性研究, 原子核物理评论, 2006-06-20, 2006( 02):221-223 |
| Palavras-Chave | #4H-SiC #傅立叶变换红外光谱 #离子注入 #卢瑟福背散射分析 #退火 |
| Tipo |
期刊论文 |
