磁控溅射阴极靶磁场分布的定量评价
| Data(s) |
2010
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|---|---|
| Resumo |
针对磁控溅射阴极靶磁场分布难以进行定量评价的问题,提出以磁场水平分量Bx的平行率Rk为量化指标,对磁场分布状态进行评价的新方法;采用有限元方法,模拟分析了磁控溅射阴极靶结构参数对磁场分布的影响规律,并利用Rk对结构参数的合理性进行了验证.结果表明,量化指标Rk可以有效地评价磁场分布的优劣,能够为磁场模拟及分析提供基础的科学判据 国家自然科学基金(10772179) |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
材料热处理学报.2010,31(12):153-157 |
| Palavras-Chave | #磁控溅射 #磁场分布 #结构参数 #平行率 |
| Tipo |
期刊论文 |
