化学气相沉积法SiC连续用炭芯研制

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Autoria(s): 史景利; 朱星明

Data(s)	2002
Identificador	http://ir.sxicc.ac.cn/handle/0/3197 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/119651
Idioma(s)	中文
Fonte	史景利,朱星明.化学气相沉积法SiC连续用炭芯研制.2002.[url]
Tipo	成果