用离子束混合及快速热处理方法形成钽的硅化物
| Data(s) |
1989
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|---|---|
| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:17:02导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:17:02Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6419.pdf: 1459811 bytes, checksum: f5be181a09d6e81439ff4337b36af37f (MD5) Previous issue date: 1989 中科院半导体所;University Erlangen-Nurnberg |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
姚文卿;Ryssed Heiner.用离子束混合及快速热处理方法形成钽的硅化物,半导体学报,1989,10(9):667 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
