亚微米栅长调制掺杂场效应管(MODFET)的制造


Autoria(s): 杨玉芬; 陈宗圭; 张矩
Data(s)

1989

Resumo

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中科院半导体所;北京理工大学

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20575

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104925

Idioma(s)

中文

Fonte

杨玉芬;陈宗圭;张矩.亚微米栅长调制掺杂场效应管(MODFET)的制造,半导体学报,1989,10(3):192

Palavras-Chave #半导体器件
Tipo

期刊论文