薄膜SOI结构中反型厚度与薄膜厚度的关系

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Autoria(s): 夏永伟; 王守武

Data(s)	1990
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20509 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104892
Idioma(s)	中文
Fonte	夏永伟;王守武.薄膜SOI结构中反型厚度与薄膜厚度的关系,半导体学报,1990,11(12):962
Palavras-Chave	#半导体材料
Tipo	期刊论文