氩离子在反应离子腐蚀III-V族材料中的应用

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Autoria(s): 李建中

Data(s)	1990
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20505 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104890
Idioma(s)	中文
Fonte	李建中.氩离子在反应离子腐蚀III-V族材料中的应用,半导体学报,1990,11(12):937
Palavras-Chave	#半导体化学
Tipo	期刊论文