冷发射电子束掺杂磷


Autoria(s): 李秀琼; 王培大; 马祥彬; 王纯
Data(s)

1990

Resumo

国家自然科学基金

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20503

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104889

Idioma(s)

中文

Fonte

李秀琼;王培大;马祥彬;王纯.冷发射电子束掺杂磷,半导体学报,1990,11(12):942

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文