Ce-Si多层膜中铈硅化物的形成
| Data(s) |
1990
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|---|---|
| Resumo |
国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
何杰;许振嘉;钱家骏;王玉田;王佑祥.Ce-Si多层膜中铈硅化物的形成,半导体学报,1990,11(12):946 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
