Co与Si和SiO_2在快速热退火中的反应
| Data(s) |
1990
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|---|---|
| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:16:38导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:16:38Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6360.pdf: 174145 bytes, checksum: 75120ca69e03b9d392fcc3b686de8b62 (MD5) Previous issue date: 1990 中科院半导体所;北京大学 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
陈维德;崔玉德;许振嘉;陶江.Co与Si和SiO_2在快速热退火中的反应,半导体学报,1990,11(11):859 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
