利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究
| Data(s) |
1990
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|---|---|
| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:16:35导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:16:35Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6353.pdf: 162071 bytes, checksum: 6debe05497547a85837742c82a64e327 (MD5) Previous issue date: 1990 中科院北京电子显微镜实验室;中科院半导体所 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
段晓峰;都安彦;褚一鸣.利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究,半导体学报,1990,11(9):688 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
