Er~+注入单晶硅中非晶层晶化过程的TEM研究
| Data(s) |
1990
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| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:16:32导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:16:32Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6343.pdf: 110824 bytes, checksum: 4b2224c37060cb9262682e7c0f984bea (MD5) Previous issue date: 1990 南京大学;中科院半导体所;中科院微电子中心 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
严勇;王培大;胡梅生;孙慧龄;李齐;冯端.Er~+注入单晶硅中非晶层晶化过程的TEM研究,半导体学报,1990,11(7):561 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
