Pd/a-Si∶H界面反应研究


Autoria(s): 沈波; 赵特秀; 刘洪图; 吴志强; 金澍; 许振嘉
Data(s)

1990

Resumo

中科院基金

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20455

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104865

Idioma(s)

中文

Fonte

沈波;赵特秀;刘洪图;吴志强;金澍;许振嘉.Pd/a-Si∶H界面反应研究,半导体学报,1990,11(8):578

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文