Si（100）-As表面纯化作用和氧吸附

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Autoria(s): 钟战天; 王大文; 范越; 李承芳

Data(s)	1990
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20407 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104841
Idioma(s)	中文
Fonte	钟战天;王大文;范越;李承芳.Si（100）-As表面纯化作用和氧吸附,半导体学报,1990,11(2):104
Palavras-Chave	#半导体化学
Tipo	期刊论文