Pd/c-Si界面反应研究
| Data(s) |
1990
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|---|---|
| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:16:06导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:16:06Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6291.pdf: 140980 bytes, checksum: 2e2c347b68b5c2979bda2fd3547cfddb (MD5) Previous issue date: 1990 其它基金 中国科学技术大学;中科院半导体所 其它基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
沈波;方一生;赵特秀;许振嘉.Pd/c-Si界面反应研究,中国科学技术大学学报,1990,20(2):143 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
