Si晶格常数超高精度传递测量中的标准晶体及制备

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Autoria(s): 高维滨

Data(s)	1991
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20349 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104812
Idioma(s)	中文
Fonte	高维滨.Si晶格常数超高精度传递测量中的标准晶体及制备,半导体学报,1991,12(7):435
Palavras-Chave	#半导体物理
Tipo	期刊论文