刻槽硅衬底上的GaAs/AlGaAs超晶格衬材料的微结构特性


Autoria(s): 范缇文; 梁基本
Data(s)

1991

Resumo

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中科院半导体所

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20343

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104809

Idioma(s)

中文

Fonte

范缇文;梁基本.刻槽硅衬底上的GaAs/AlGaAs超晶格衬材料的微结构特性,半导体学报,1991,12(7):412

Palavras-Chave #半导体物理
Tipo

期刊论文