多晶硅/CoSi2/Si结构热稳定性研究

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Autoria(s): 陈维德; 金高龙; 崔玉德; 许振嘉

Data(s)	1991
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20317 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104796
Idioma(s)	中文
Fonte	陈维德;金高龙;崔玉德;许振嘉.多晶硅/CoSi2/Si结构热稳定性研究,半导体学报,1991,12(11):700
Palavras-Chave	#半导体材料
Tipo	期刊论文