一种新的非均匀减薄法-选择阳极氧化法


Autoria(s): 高凤升; 龚秀英; 葛永才
Data(s)

1991

Resumo

于2010-11-23批量导入

zhangdi于2010-11-23 13:15:53导入数据到SEMI-IR的IR

Made available in DSpace on 2010-11-23T05:15:53Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6257.pdf: 99262 bytes, checksum: d643711e0262c43c88e53bd1167d3ec0 (MD5) Previous issue date: 1991

中科院半导体所

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20299

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104787

Idioma(s)

中文

Fonte

高凤升;龚秀英;葛永才.一种新的非均匀减薄法-选择阳极氧化法,电子科学学刊,1991,13(2):221

Palavras-Chave #半导体化学
Tipo

期刊论文