质量分离低能离子束外延超薄硅单晶的初步研究


Autoria(s): 黄大定; 姚振钰; 任治璋; 王向明; 刘志凯; 秦复光
Data(s)

1993

Resumo

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中科院半导体所

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20149

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104712

Idioma(s)

中文

Fonte

黄大定;姚振钰;任治璋;王向明;刘志凯;秦复光.质量分离低能离子束外延超薄硅单晶的初步研究,半导体学报,1993,14(8):509

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文