质量分离低能离子束外延超薄硅单晶的初步研究
Data(s) |
1993
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Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:15:18导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:15:18Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6181.pdf: 115627 bytes, checksum: e7170262cf1d3e5effee99c6a3de3056 (MD5) Previous issue date: 1993 中科院半导体所 |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
黄大定;姚振钰;任治璋;王向明;刘志凯;秦复光.质量分离低能离子束外延超薄硅单晶的初步研究,半导体学报,1993,14(8):509 |
Palavras-Chave | #半导体材料 |
Tipo |
期刊论文 |