锗离子注入硅单晶的非晶化及二次缺陷的研究

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Autoria(s): 范缇文; 张敬平; Hemment P L F

Data(s)	1993
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20147 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104711
Idioma(s)	中文
Fonte	范缇文;张敬平;Hemment P L F.锗离子注入硅单晶的非晶化及二次缺陷的研究,半导体学报,1993,14(12):734
Palavras-Chave	#半导体材料
Tipo	期刊论文