Co-Si多层膜的透射电镜研究
| Data(s) |
1993
|
|---|---|
| Resumo |
国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
顾诠;何杰;钱家俊;陈维德;许振嘉.Co-Si多层膜的透射电镜研究,半导体学报,1993,14(12):738 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
