Co-Si多层膜在稳态热退火中的固相界面反应
| Data(s) |
1993
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| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:15:01导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:15:01Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6153.pdf: 170596 bytes, checksum: e8c3088766490f32d9bdf4f5fa38c68f (MD5) Previous issue date: 1993 国家自然科学基金 中科院半导体所 国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
顾诠;陈维德;许振嘉.Co-Si多层膜在稳态热退火中的固相界面反应,半导体学报,1993,14(10):612 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
